高分辨X射線顯微鏡是X射線成像術的一種，也是顯微成像技術，即將微觀的、肉眼無法分辨看出的結(jié)構(gòu)、圖形放大成像以便觀察研究的器械。X 射線成像的襯度原理、設備的構(gòu)造與主要組成部件( 如X射線源、探測器等)，但主要是從宏觀物體的成像( 如人體器管的醫(yī)學成像、機械制品的缺陷探傷、機場車站的安全檢查等) 出發(fā)的。宏觀成像與微觀成像有相通之處，如襯度原理、設備的主要組成部件等，但也有區(qū)別。
高分辨X射線顯微鏡的成像原理與光學顯微鏡基本上是一樣的，遵從幾何光學原理，其關鍵部件是成像和放大作用的光學元件，在光學顯微鏡中為透鏡。由于X 射線的波長很短，在玻璃和一般物質(zhì)界面上的折射率均接近1，故其成像放大元件不能用玻璃透鏡，一般用波帶片。
此外，它們同樣利用吸收襯度和位相襯度成像，同樣要求有強光源及像探測器。對光學顯微鏡，一般用肉眼觀察，故常加一目鏡起進一步放大的作用。在高分辨X射線顯微鏡中當然不能用眼晴直接觀察，可用CCD 等面探測器探測。顯微鏡的重要性能指標兩者是相似的，有放大倍數(shù)、分辨力、像差等幾個。X射線顯微鏡的一般構(gòu)造:從強光源來的光束先經(jīng)聚焦元件( 在此為毛細管透鏡聚焦) 使光斑尺寸變小、亮度加大，然后射到樣品上，透過樣品的光，再經(jīng)成像放大元件( 在此為波帶片) 而到達探測器( 在此為閃爍體加CCD)。成像波帶片和探測器之間有一個Au 位相補償環(huán)，在相襯成像時用。如吸收襯度成像，可移走。
更新時間：2022-11-23
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